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GDM-3100型便携式半导体行业特气检测仪
一、产品介绍
气体泄漏检测的延迟会对工厂财产、环境和人员生命构成巨大威胁。GDM-3100型便携式半导体行业特气检测仪采用先进的智能传感器技术能侦测到40多种气体，包括硅烷、磷烷、氨气、三氟化氮和其他半导体特气。高可靠性的特气检测仪监控系统，提高工厂的安全性和生产力。
二、产品特点
1.操作简单
只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
2.即插即用
盒式传感器单元内置CPU，即插即用无需现场校准
3.提质增效
大幅削减成本和维护时间
三、技术参数
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主要参数 |
参数范围 |
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尺寸（长宽高） |
170mm×160mm×191.5mm＜5W（NDIR ＜8W） |
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重量 |
＜4kg |
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仪器功率 |
＜5W（NDIR ＜8W） |
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适配器工作电压 |
220V,50HZ |
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POE工作电压 |
48 VDC (符合 IEEE 802.3af) |
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电池工作电压 |
24VDC，-15 to +10% |
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电池参数 |
三元聚合物锂电池，84wh |
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充电时长 |
＜3小时 |
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采样流量 |
500ml/min |
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采样距离 |
＜30m，具体值取决于气体类型 |
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工作温度 |
0~40℃ |
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报警方式 |
内置式报警蜂鸣器及报警状态指示灯 |
四、检测气体
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气体名称 |
化学式 |
测量量程 |
气体名称 |
化学式 |
测量量程 |
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氧气 |
O2 |
0-25% vol |
溴 |
Br2 |
0-1ppm |
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氯化氢 |
HCl |
0-8ppm |
臭氧 |
O3 |
0-1ppm |
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氯气 |
Cl2 |
0-2ppm |
光气 |
COCl2 |
0-1ppm |
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氨气 |
NH3 |
0-100ppm |
溴化氢 |
HBr |
0-10ppm |
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可燃气体 |
combustible |
0-100%LEL |
三氯化硼 |
BCl3 |
0-10ppm |
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氢气 |
H2 |
0-100%LEL |
二氯二氢硅 |
H SiCl 2 2 |
0-10ppm |
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乙烯 |
C H 2 4 |
0-100%LEL |
六氟化钨 |
WF6 |
0-12ppm |
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丙烯 |
C H 3 6 |
0-100%LEL |
三氟化硼 |
BF3 |
0-8ppm |
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硫化氢 |
H S 2 |
0-40ppm |
乙硅烷 |
Si H 2 6 |
0-20ppm |
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一氧化碳 |
CO |
0-100ppm |
二氧化氯 |
ClO2 |
0-0.4ppm |
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氟化氢 |
HF |
0-12ppm |
三氟化氯 |
ClF3 |
0-1ppm |
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氢气 |
H2 |
0-1000ppm |
氰化氢 |
HCN |
0-20ppm |
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硅烷 |
SiH4 |
0-20ppm |
三氟化氮* |
NF3 |
0-40ppm |
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磷烷 |
PH3 |
0-1ppm |
二氟甲烷* |
CH F 2 2 |
0-100ppm |
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砷烷 |
AsH3 |
0-0.2ppm |
六氟化硫* |
SF6 |
0-1000ppm |
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正硅酸乙酯 |
0-40ppm |
四氟化碳* |
CF4 |
0-1000ppm |
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氟 |
0-1ppm |
羰基硫* |
COS |
0-100ppm |